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工場半導体、液晶ディスプレイ　フォトリソグラフィ技術ハンドブック

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定価77000円 Amazonでは38880円で売っていますこれまで、半導体製造におけるリソグラフィ技術を解説した書籍は多いが、本書では半導体製造だけではなく、ディスプレイ応用までをカバーしている。特に半導体の最新解説と大面積に向けたリソグラフィからレジスト材料までをまとめた本書は貴重である。

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